Lithocentrum in Albany gestart
Sematech en het College of Nanoscale Science and Engineering (CNSE) in Albany richten samen een centrum op voor de ontwikkeling van lithografische materialen, met name voor EUV-lithografie.
Bedrijf: Sematech
Metrologietool voor EUV-maskerinspectie in ontwikkeling
Sematech en Carl Zeiss slaan de handen ineen om een gat in de EUV-infrastructuur te dichten: maskerinspectie.
Fei helpt Sematech met metrologie-R&D
Microscopenbouwer Fei en R&D-centrum Sematech gaan samenwerken in metrologieonderzoek.
Sematech krijgt nieuwe lithodirectie
Chipresearchcentrum Sematech heeft Bryan Rice en Stefan Wurm benoemd tot directeur en vicedirecteur van zijn lithografiedivisie.
