Mapper de markt op

Na meer dan tien jaar ontwikkelen heeft Mapper zijn eerste e-beammachine geïntroduceerd.

Experts prefereren e-beam boven EUV

Als het aan de deelnemers van IEEE‘s 2012 Lithography Workshop ligt, zou e-beamlithografie meer geld krijgen om 13-nanometerchips te realiseren dan EUV.