Sematech verwijdert 10 nm vuiltjes
Onderzoekers van Sematech zijn erin geslaagd deeltjes ter grootte van 10 nanometer te detecteren en te verwijderen van een lithografiemasker.
Bedrijf: International Sematech
Samenwerking Sematech en Tokyo Electron
Het industrieonderzoeksconsortium Sematech gaat samen met Tokyo Electron werken aan de ontwikkeling van 3D-interconnectmethoden voor de productie van chips.
ASML opent demolab voor Sematech-partners
Chipmachinefabrikant ASML, Sematech en het daaraan geaffilieerde ISMI (International Sematech Manufacturing Initiative) gaan een demonstratielaboratorium opzetten in Veldhoven.
