Ruim twee jaar zwaait ASML nu de scepter bij de Amerikaanse euv-bronspecialist Cymer. De afgelopen twaalf maanden zit de ontwikkeling in een stroomversnelling. Cymer rekent erop dat het begin 2016 een euv-bron kan leveren die sterk en stabiel genoeg is voor massaproductie.
ASML-dochter Cymer heeft Klaus Schuegraf aangesteld als hoofd van de EUV-divisie.
Het geduld van ASML was op: de Veldhovenaren tellen 1,95 miljard euro neer om het roer over te nemen bij lichtbronspecialist Cymer.
Cymer is er niet in geslaagd op tijd een EUV-lichtbron van twintig watt af te leveren.
XTreme Technologies heeft een EUV-bron ontwikkeld die volcontinu een stabiel vermogen van dertig watt afgeeft bij de intermediate focus, het punt waar de bron overgaat in de scanner.
Onderzoeksmanager lithografie Obert Wood van Globalfoundries is een ’beetje bezorgd‘ over de sprong in vermogen die EUV-bronnen nog moeten nemen om commerciële productie mogelijk te maken.
De levering van Cymers lichtbron voor extreem ultraviolet laserlicht aan ASML is een mijlpaal op weg naar de ontwikkeling van een volwaardige EUV-scanner.
De Amerikaanse ’lampenmaker‘ Cymer heeft een EUV-lichtbron gemaakt die anderhalf uur lang een gemiddeld vermogen levert van 25 watt.
