Zachte magneetvering TUE laat 730 kg zweven met 1 watt

Alexander Pil
Leestijd: 2 minuten

TUE-promovendus Jeroen Janssen heeft een prototype ontwikkeld van een magneetvering voor zeer trillingsgevoelige hightech apparatuur. Zijn systeem kan een groot gewicht tillen, is zeer ’zacht‘ qua vering en verbruikt daardoor bijzonder weinig energie. Bovendien neemt de oplossing over een groot frequentiegebied de trillingen weg. Janssen verdedigt zijn proefschrift op dinsdag 13 december.

Janssen, die werkte in de vakgroep Electromechanics en Power Electronics van Elena Lomonova, is bij de ontwikkeling van zijn systeem uitgegaan van het probleem van de vibratie-isolatie van de lens in een waferscanner. Die lens moet totaal trillingsvrij zijn, omdat hij wordt gebruikt om minuscule structuren te maken. Nu is hij meestal geveerd met luchtveren, maar die verbruiken relatief veel energie, werken niet goed bij hogere frequenties en passen slecht in de trend dat lenzen van waferscanners in vacuüm worden geplaatst. Het magnetische systeem van Janssen ondervangt al deze nadelen.

In het elektromagnetisch vibratie-isolatiesysteem van de promovendus doen permanente magneten het zware tilwerk. Janssen: ’De grootste uitdaging lag hier in het combineren van een hoge verticale kracht – het systeem laat een massa van 730 kilogram zweven – met een minimale veerstijfheid om vloertrillingen te compenseren. Vergelijk het met de vering van je auto: als die te stijf is, dan word je helemaal door elkaar gerammeld.‘

This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one and enjoy all the benefits.

Login