Vermogenselektronica op het scherpst van de snede

Leestijd: 6 minuten

De nauwkeurigheidseisen bij ASML zijn hoog, extreem hoog. Tijdens de online Comsol Conference liet vermogenselektronicus Jeroen van Duivenbode zien dat hij met zijn Veldhovense collega’s alles in het werk moet stellen om de targets te halen. ‘Het kleinste lekstroompje kan al een deeltje opleveren dat funest is voor de chip.’

Om de dwingende wet van Moore te kunnen blijven volgen, moet ASML steeds kritischer naar alle technologie in zijn machines kijken. Mogelijke fouten kunnen overal vandaan komen, dus de engineers moeten stilaan echt op alle slakken zout leggen. Alleen dan lukt het om de details met nanometerprecisie op de chip af te beelden.

Een van de vele domeinen waar ASML alles uit de kast moet halen, is de vermogenselektronica. Dat vakgebied is zeker geen bijzaak voor de Veldhovense wafermachines. De bewegingen van bijvoorbeeld de stages in het systeem gaan gepaard met flinke vermogens. ‘Het piekvermogen voor de waferstage is vergelijkbaar met het vermogen in een stevige personenauto’, weet Jeroen van Duivenbode, specialist in vermogenselektronica bij ASML en fellow aan de TU Eindhoven. ‘Waar de elektronica voor die stagebewegingen vroeger in een schoenendoos paste, staan er nu vele kubieke meters vermogenselektronica naast onze machines.’

This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one and enjoy all the benefits.

Login