TNO en Zeiss kijken samen naar EUV-optica

Paul van Gerven
Leestijd: 1 minuut

TNO gaat Zeiss helpen het oppervlak van EUV-spiegels te bestuderen. Deze spiegels zijn uitermate gevoelig voor vervuiling, maar de chemie en fysica daarvan wordt nog niet goed begrepen. TNO en Zeiss zetten daarom samen een onderzoeksfaciliteit op om dat eens goed uit te zoeken. Het Nederlandse instituut brengt daarbij zijn kennis over beheersing van vervuiling op nanoschaal in, de Duitsers de spiegels zelf. De samenwerking moet de ontwikkeling van de volgende generatie EUV-optica versnellen. TNO en Zeiss werken overigens al meer dan tien jaar samen.

This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one and enjoy all the benefits.

Login