Rene_Raaijmakers_09

René Raaijmakers is hoofdredacteur van Bits&Chips.

21 April 2008

In een euforische stemming maakte ASML vorige week zijn cijfers over 2006 bekend. De omzet steeg met 42 procent naar 3,6 miljard euro en de winst bereikte een recordhoogte van 625 miljoen euro. De presentatie had wel wat weg van de presentatie begin 2001, toen de machinefabrikant onder Doug Dunn recordcijfers neerzette: 2,18 miljard euro omzet en 347 miljoen euro winst. De machinebouwer ging in de tussentijd door een diep dal, maar zet zes jaar later bijna verdubbelde cijfers neer.

Wat zijn de verschillen? In januari 2001 was Doug Dunn het goudhaantje. Dit jaar gaf topman Eric Meurice aan zijn financiële rechterhand Peter Wennink het podium om de schitterende resultaten te presenteren. Meurice toont zich bescheiden. De Fransman schijnt overigens ook goed overweg te kunnen met Martin van den Brink, de technologieman die ASML in werkelijkheid runt en wat mij betreft de echte ster van dit feestje.

Nog een verschil. ASML heeft voor de presentatie van de jaarcijfers het mondaine Krasnapolsky in Amsterdam intussen ingeruild voor Veldhoven. Gebouw 7 om precies te zijn, het fort aan de A67 waar topingenieurs veel van ASML‘s lithografische en mechatronische snufjes bedenken. Het lijkt een detail, maar is toch een wezenlijk verschil. Toen een journalist in de zaal aan Meurice vroeg of hij ’in navolging van verschillende beursgenoteerde bedrijven‘ ook dacht om het hoofdkwartier naar Amsterdam te verhuizen antwoordde hij stellig: ’In Amsterdam vind je niet zoveel technologie als in het zonnige Veldhoven. Dat idee komt niet bij ons op.‘

Grote overeenkomst? Ik zou zeggen: ASML‘s blijvende commitment om fors te blijven investeren in onderzoek en ontwikkeling. ’Als we op R&D bezuinigen, ruïneren we onze toekomst‘, zei Dunn in 2001. Ook Meurice hamert op technologisch vernieuwen. ASML‘s R&D-uitgaven liggen momenteel op ruim 100 miljoen euro en mag nu naar 150 miljoen euro groeien. ’We zetten zo veel mogelijk resources in om ons te differentiëren‘, aldus Meurice.

Dat differentiëren heeft op dit moment één duidelijke focus. De overname van Brion Technologies laat opnieuw zien dat het bedrijf zijn toekomst vooral zeker wil stellen door te focussen op optische en fotolithografische kennis. Brion heeft veel knowhow over wat fotonen vanaf het masker tot in de fotolak uitspoken. Die kennis kan ASML goed gebruiken in het optimaliseren van de belichting, of het nu met ArF-laserlicht is of met extreem ultraviolette straling (EUV).

In de hele proces van chipprocesverbetering van ArF naar EUV kunnen ASML‘s mechatronica-experts de komende jaren mogelijk nog voor verrassingen zorgen. De machinefabrikant is altijd al kampioen geweest in doorvoer en in Veldhoven is het verhogen van de belichtingsnelheid een superhoge R&D-prioriteit. Sneller belichten betekent immers goedkoper chips produceren. Stel dat ASML erin slaagt om de huidige doorvoer twee maal te verhogen, dan betekent dat een forse verlaging van de kosten voor double patterning met een (193 nm) ArF-scanner – een alternatief voor EUV op 32 nm.

Het zal geen halvering van de kosten zijn, gezien de noodzaak voor extra maskers, maar toch een aanzienlijke tijd- en dus kostenbesparing. Daarmee verschuift het economische plaatje voor 32 nm-chips van EUV naar double patterning met ArF-scanners. Dit soort evoluties was de afgelopen decennia in de lithobusiness al schering en inslag. Het zou mij niet verbazen als er straks aan de 32 nm-generatie geen EUV-stepper te pas komt – alle grootspraak van EUV-evangelist Intel ten spijt.