Paul van Gerven
4 February 2008

Op instigatie van Intel heeft Nikon de levering uitgesteld van een EUV-machine voor R&D-doeleinden. Dat meldt althans EE Times, die zich baseert op ongespecificeerde bronnen. Intel wil niet ingaan op ’geruchten‘, terwijl Nikon benadrukt dat het de tool alsnog wil verschepen op een later tijdstip.

Nikon zou volgens EE Times de alfamachine eigenlijk al eind 2007 geleverd moeten hebben. Dat is niet gebeurd, omdat de Japanners hem op zijn hoofdkwartier in Tokio wilde houden. De verplaatsing zou te lang duren. Nikon ontkende deze gang van zaken en ziet zich daarin gesteund door analisten. De levering zou dus nog steeds op de agenda staan. Het blijft onbekend op welke termijn dat zou gebeuren.

Intel is niet de enige EUV-klant die zich bij Nikon heeft gemeld. De eerste machine gaat binnenkort op transport naar Selete, een Japans R&D-consortium. De installatie duurt ruim een jaar. Daarmee heeft ASML een flinke voorsprong op zijn directe concurrent. De Veldhovenaren hebben al werkende EUV-machines staan in de cleanrooms van Imec en het College of Nanoscale Science and Engineering (CNSE) van de University at Albany.

Mark LaPedus, auteur van het bewuste artikel in EE Times, ziet in de geruchten opnieuw aanleiding om aan de haalbaarheid van EUV als opvolger van immersielithografie te twijfelen. Eerder sprak hij de verwachting uit dat EUV in 2008 ’ontmaskerd‘ zou worden.