Paul van Gerven
15 October 2008

Onderzoekers van het Holst Centre hebben een microsysteem ontwikkeld dat zestig microwatt opwekt uit trillingen van vijfhonderd hertz met een versnelling van twee G. Dat record is voldoende om eenvoudige autonome sensoren op te laten draaien. Het Mems-systeempje bestaat uit microscopische balkjes, aan het uiteinde voorzien van een gewichtje, die mee gaan trillen met de omgeving. Een piëzo-elektrisch laagje van aluminiumnitride op het balkje zet deze beweging om in een elektrische spanning.

De zestig microwatt die deze piëzo-elektrische Mems-systemen van het Holst Centre leveren, is voldoende om eenvoudige draadloze sensoren van energie te voorzien.