ASML demonstreert 250 watt euv-bronvermogen

Pieter Edelman
Leestijd: 1 minuut

ASML heeft op Semicon West een nieuwe euv-mijlpaal geclaimd: de succesvolle demonstratie van een 250-wattbron, het beoogde vermogen om de scanners een minimale doorvoer van 125 wafers per uur te geven. Het vermogen zou ‘aardig consistent’ zijn, tekende EE Times op uit de mond van Michael Lercel, directeur strategische marketing bij ASML. Het is echter niet duidelijk hoe rijp de bron is voor productie. Op het moment is hij nog niet bij klanten geïnstalleerd.

This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one and enjoy all the benefits.

Login