Update: Mapper in Europees programma voor maskerloze litho

Een aantal machinebouwers en halfgeleiderbedrijven heeft zich verenigd in Magic, een Europees programma om maskerloze lithografie door te drukken als productieoptie voor 32-nanometerchips. Aan het Zevende Kader-samenwerkingsverband doen twee ontwikkelaars van elektronenbundellitho mee: het Delftse Mapper en het Oostenrijkse IMS Nanofabrication. Daarnaast hebben onder meer CEA-Leti, Fraunhofer, KLA-Tencor, Qimonda en STMicroelectronics zich ingeschreven.

Lithografie met (parallelle) elektronenbundels staat niet bekend om zijn hoge doorvoersnelheden. Het is echter vooralsnog onduidelijk wat Magic zich ten doel stelt: maskerloze IC-massaproductie of bescheidener oplages. Medeoprichter Bert Jan Kampherbeek, tegenwoordig vicepresident Marketing & Development, zei vorig jaar in een interview met Bits&Chips dat zijn bedrijf zich in eerste instantie niet richt op mainstream IC-fabricage. ’Wij richten ons op prototyping en op Asics en ASSP‘s. Daarbij vormen de maskerkosten een significant deel van de totale kosten en scheelt het niet hoeven maken van maskers een boel tijd.‘

Bert Jan Kampherbeek van Mapper: ‘Elektronenbundellitho heeft de volle aandacht van chipmakers.’