Warning: Undefined array key "bio" in /home/techwatch/domains/test.bits-chips.nl/public_html/wp-content/plugins/wpcodebox2/src/Runner/QueryRunner.php(126) : eval()'d code on line 13
Author:
Reading time: 1 minute
TNO gaat Zeiss helpen het oppervlak van EUV-spiegels te bestuderen. Deze spiegels zijn uitermate gevoelig voor vervuiling, maar de chemie en fysica daarvan wordt nog niet goed begrepen. TNO en Zeiss zetten daarom samen een onderzoeksfaciliteit op om dat eens goed uit te zoeken. Het Nederlandse instituut brengt daarbij zijn kennis over beheersing van vervuiling op nanoschaal in, de Duitsers de spiegels zelf. De samenwerking moet de ontwikkeling van de volgende generatie EUV-optica versnellen. TNO en Zeiss werken overigens al meer dan tien jaar samen.
