TNO en Stanford vinden elkaar in e-beamlitho

Reading time: 1 minute

Author:

TNO gaat een samenwerkingsverband aan met Stanford University. De beide kennisinstellingen willen van elkaar leren bij de vervaardiging van optische structuren met behulp van e-beamlithografie. Deze structuren zijn relatief groot – enkele millimeters – maar moeten heel nauwkeurig op elkaar aansluiten om lichtverlies door ongewenste reflecties te voorkomen. TNO‘s Van Leeuwenhoek Laboratorium in Delft heeft een e-beammachine van de Duitse firma Raith staan waarmee de plaatsing tot nanometers nauwkeurig kan worden gerealiseerd. Mogelijke toepassing van de geavanceerde optica is te vinden in de medische hoek, waar optisch werken minder risico‘s op storingen met zich meebrengt dan elektrisch.