Technieuws

Spiegels poetsen om chips te bakken

Paul van Gerven
Leestijd: 4 minuten

Het Fom-instituut voor Plasmafysica Rijnhuizen, een twee Russische collega-onderzoeksinstellingen en optisch specialist Carl Zeiss gaan door met de perfectionering van EUV-spiegels. Met massaproductie om de hoek haakt deze keer ook ASML zelf aan.

EUV-licht laat zich niet op dezelfde manier temmen als zichtbaar licht. Omdat de hoogenergetische straling door vrijwel elk materiaal wordt geabsorbeerd, kunnen er geen lenzen voor worden gemaakt. In een EUV-scanner zitten daarom holle en bolle spiegels, die bestaan uit op elkaar gestapelde nanolaagjes van om en om molybdeen en silicium. Het eerste materiaal reflecteert EUV-straling relatief goed, terwijl het tweede er juist relatief transparant voor is. Op elk Mo-Si-grensvlak weerkaatst een deel van de straling, en alle deelreflecties recombineren tot één bundel indien de stapel nanolaagjes netjes past met de golflengte van het EUV-licht. Daartoe moeten de lagen precies de juiste dikte hebben en zo min mogelijk onvolkomenheden bevatten.

De precisiefabricage van deze atoomscherpe spekkoek was het voornaamste doel van het volgend jaar te voltooien Extreme UV Multilayer Optics-project (XMO) van het Fom-instituut voor Plasmafysica Rijnhuizen en Carl Zeiss. ’Het fabricageproces dat we in het XMO-project hebben ontworpen en samen met Zeiss hebben ontwikkeld, gebruikt Zeiss nu om zelfstandig spiegels te vervaardigen‘, vertelt Fred Bijkerk, Fom-afdelingshoofd Nanolayer Surface and Interface Physics en projectleider van XMO. Niet zonder trots voegt hij eraan toe dat zijn kindjes bij Zeiss net onder de 70 procent van de straling reflecteren en er in zijn eigen lab zelfs exemplaren zijn gemaakt die iets boven de 70 procent uitkomen – een wereldrecord. Omdat molybdeen en silicium ook een deel van de straling absorberen, is 100 procent reflectie geen haalbare kaart. Het maximaal haalbare is 74 procent.

This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one and enjoy all the benefits.

Login

Related content