Piëzo-Mems-specialist Solmates ontvangt drie miljoen investering

Alexander Pil
Leestijd: 1 minuut

Participatiemaatschappij Oost Nederland en Twente Technology Fund investeren samen drie miljoen dollar in het Enschedese Solmates. Het bedrijf gaat het geld gebruiken voor de ontwikkeling van zijn piëzodepositiemachine voor Mems. Bovendien wil de Mesa+-spin-off internationaal uitbreiden.

De technologie van Solmates vindt zijn oorsprong op de Universiteit Twente. Naar eigen zeggen is het het meest geavanceerde productiesysteem voor het deponeren van dunne lagen piëzo-elektrisch materiaal. Het bedrijf mikt op piëzo-Mems, een Mems-subcategorie waarbij de micromechanische elementen met piëzotechnologie worden aangestuurd. Er bestaan al wel oplossingen voor het aanbrengen van dergelijke lagen, maar die zijn volgens Solmates onbetrouwbaar en duur. De Enschedese Piezoflare 1200-machine zou wel geschikt zijn voor massaproductie.

De Piezoflare 1200 is een geautomatiseerd systeem dat het piëzomateriaal PbZrTiO3 (PZT) in dunne lagen kan deponeren op 6 of 8 inch wafers. De machine schiet in vacuüm met een gepulste laser op het PZT. Er ontstaat dan een wolkje dat op de wafer neerslaat.

This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one and enjoy all the benefits.

Login