Technieuws

Philips Apptech verplaatst wafers magnetisch

Paul van Gerven
Leestijd: 2 minuten

Philips Applied Technologies heeft een nieuwe vorm van magnetische levitatie (maglev) ontwikkeld. Voor het eerst is het mogelijk een platform geheel zonder kabels en koelslangen met zes vrijheidsgraden te laten zweven. Het ’vliegende‘ platform kan lineaire bewegingen in de orde van een halve meter uitvoeren in de x- en y-coördinaat, en kleinere (ongeveer 1 mm) verplaatsingen en rotaties in de x-, y- en z-coördinaten. Philips denkt vooral aan toepassing in de waferbewerking.

De Planar Maglev werkt met spoelen op een stationair vlak die een magnetisch veld opwekken als ze onder stroom staan. Op het platform zijn permanente magneten bevestigd met een tegenovergestelde polariteit. De afstotende werking tussen beide polen zorgt voor de levitatie. Met de stroom in de spoelen is ook de beweging van het platform mogelijk. Op den duur moet het mogelijk zijn om in ultrahoog vacuüm en superschone condities een precisie in de orde grootte van nanometers te realiseren.

Philips gebruikt de Soft Motion-software om de interacties tussen de verschillende componenten te regelen. Het heeft bijna tien jaar geduurd om die te perfectioneren. Soft Motion construeert een virtueel model van het maglev-platform op basis van gegevens die sensoren van het metrologisch systeem doorgeven. In feite digitaliseren ze de mechatronica en berekenen ze vervolgens de krachten die nodig zijn om het platform te verplaatsen. Dankzij de software kan het mechanische ontwerp van het stationaire bed een stuk simpeler en dus goedkoper om te maken en te onderhouden. ’Het was niet makkelijk om de software te ontwikkelen‘, zegt Peter Frissen, projectleider van Planar Maglev. ’Jarenlang hebben we de dynamica van maglev-systemen moeten bestuderen. Dat is uitgemond in een efficiënt algoritme dat anderen niet makkelijk kunnen namaken.‘

This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one and enjoy all the benefits.

Login

Related content