Technieuws

Ook Imec bezig met EUV-testchip

Paul van Gerven
Leestijd: 1 minuut

In het kielzog van AMD en IBM is ook Imec bezig aan een chip waarin de kritieke laag met EUV-lithografie is gemaakt. Dat zegt Kurt Ronse, leider van Imecs lithoprogramma, in Electronics Weekly. ’We hebben een iets andere benadering dan AMD‘, aldus Ronse. ’We gebruiken een 32 nm-SRam in plaats van een 45 nm-SRam.‘ De belichtingsstap en het etsen zijn inmiddels gelukt, voor de resterende processtappen zijn nog enkele weken nodig. Ergens in maart is de testchip klaar voor elektrische tests.

This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one and enjoy all the benefits.

Login

Related content