Author:
Reading time: 1 minute
Een ’leidende Europese logic-foundry‘ heeft bij Levitech een order geplaatst voor een multichamber Levitor 4300 Rapid Thermal Processing-systeem (RTP-systeem). ’We zien dat de competitieve voordelen van onze Levitor steeds belangrijker worden terwijl de industrie naar lagere temperaturen gaat bij nieuwe technologieknooppunten‘, aldus CEO Jaap Beijersbergen van Levitech. Zijn klant gaat Levitechs machine gebruiken voor chipfabricage op 45 nanometer en kleiner.
In de Levitor krijgen wafers, al zwevend tussen luchtkussentjes, een supersnelle maar superprecieze hittebehandeling tussen twee massieve hitteblokken. De technologie werd ontwikkeld door Levitechs moederbedrijf ASMI, dat nooit echt voet aan de grond kreeg in de markt voor RTP-systemen. In 2008 trok CEO Chuck del Prado onder druk van aandeelhouders de stekker eruit. Vorig jaar werd de ASMI-businessunit op eigen benen gezet als Levitech, dat naast de chip- ook de solarindustrie wil gaan bedienen. De spin-off ontwikkelt een atoomlaagdepositiesysteem voor de fabricage van zonnecellen op basis van hetzelfde zwevende-wafersysteem.
