Interview

‘Klanten hebben extreem veel geduld met ons’

René Raaijmakers
Leestijd: 11 minuten

Zeiss SMT staat in de startblokken om de productie van EUV-spiegelsystemen fors te verhogen. Al een paar jaar. Bits&Chips neemt in Oberkochen polshoogte bij ASML’s belangrijkste partner en praat met Hermann Gerlinger, bestuursvoorzitter van de SMT-divisie en directielid van Zeiss. ‘Onze EUV-systemen moeten de roadmap bijhouden. We moeten al dat R&D-geld spenderen terwijl we niet op de leercurve van de volumeproductie bij klanten meeliften.’

Wie voor het eerst bij de divisie Semiconductor Manufacturing Technology van Zeiss in Oberkochen komt, kan in ieder geval één stereotype over de Duitse werkvloer overboord zetten. Werknemers met stropdassen zijn niet te bekennen. Het lijkt ASML wel. En net als in Veldhoven ook hier een strenge beveiliging en moderne inrichting. Het is meteen duidelijk dat we hier een hoogtechnologische wereld binnenstappen. In de ontvangsthal een joekel van een optiek, een immersielens voor 193 nanometer. Buiten wapperen de Koreaanse en Nederlandse vlag, want Zeiss ontvangt vandaag vertegenwoordigers van Samsung en zijn strategische partner ASML.

Het kloppende hart in Oberkochen is de fabriek waar de halfgeleiderdivisie van Zeiss optieken voor lithografische systemen maakt. Voor de in 2001 geopende faciliteit werd speciaal een dikke laag kiezelstenen gestort om trillingen te dempen. Zeiss maakt er lenzen en spiegelsystemen voor zowel DUV-optieken (deep ultraviolet) als voor EUV-lithografie (extreme ultraviolet).

This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one and enjoy all the benefits.

Login

Related content