Japanse ontwikkelaars EUV-bron uit elkaar

De Japanse bedrijven Komatsu en Ushio zetten een punt achter hun samenwerking in de Gigaphoton-joint venture, dat onder meer een EUV-lichtbron tracht te ontwikkelen. Ushio, dat in 2008 Philips‘ Xtreme Technologies overnam, verkoopt zijn aandeel aan Komatsu en gaat op eigen houtje verder. Er blijven drie deelnemers actief in de race om EUV-fotonen te leveren: het Amerikaanse Cymer, Gigaphoton/Komatsu en Ushio.

De ontwikkeling van een voldoende sterke EUV-lichtbron heeft zes tot negen maanden achterstand opgelopen en dat heeft sommige partijen zenuwachtig gemaakt. Hoewel ASML zijn eigen EUV-activiteiten tijdelijk een tandje heeft opgekrikt, bezwoer het bedrijf onlangs dat er geen reden is tot zorg.