Imec produceert beeldsensoren voor Fei

Fei gaat detectoren voor zijn scanning elektronenmicroscopen (Sems) bij Imec betrekken. Het onderzoekscentrum heeft de sensoren ontwikkeld op basis van specificaties van Fei, en de microscopenbouwer heeft de eerste exemplaren gekwalificeerd voor gebruik, aldus Imec. De focus bij het ontwerp lag op betrouwbaarheid en gevoeligheid voor elektronen met een lage energie.

De detectoren worden geproduceerd in de 200 mm-fab van Imec. Het onderzoekscentrum biedt foundrydiensten voor prototypes en kleinschalige productie. Voor opschaling naar grotere volumes heeft het allianties met diverse foundry’s.