Imec installeert ASML’s EUV-preproductietool

Reading time: 1 minute

Author:

Imec is begonnen de NXE:3100-scanner van ASML aan te sluiten in zijn cleanroom. Dat maakt het Leuvense onderzoeksconsortium vandaag bekend op de SPIE Advanced Lithography-conferentie in San Jose. In ieder geval Samsung ging Imec al voor; in totaal heeft ASML acht bestellingen gekregen voor de tool, de eerste waarmee ook IC-fabrikanten zelf mee gaan spelen. Imec had al een van de twee bètatools staan.

De installatie markeert de volgende stap in het gereedmaken van EUV-technologie voor commerciële halfgeleiderproductie, al haalt ook de nieuwe tool niet de daarvoor benodigde doorvoer van minimaal zestig plakken per uur. Dit ondanks een dubbele-stageconstructie, een betere transmissie en een sterkere lichtbron vergeleken met de eerste onderzoekstool. ASML‘s roadmap voorziet in de levering van echte productiemachines vanaf 2014.