Imec helpt ASML verder met EUV-machines

Als onderdeel van zijn CMore-initiatief heeft Imec met succes een chipset gekwalificeerd bestaande uit EUV-sensor-dies. De Leuvense onderzoekers integreren deze set nu in de NXE:3100, ASML‘s preproductietool voor EUV-lithografie. Dit zorgt voor een betere overlay en critical dimension (CD) van de machine. Twee van de sensoren zijn ontworpen om het lenzensysteem van de NXE:3100 te kalibreren, uit te lijnen en te focusseren. Een derde sensor kan de EUV-dosis van zijn productierijpe opvolger, de NXE:3300, monitoren. De volgende stap is om de rest van de sensoren voor de NXE:3300 te ontwikkelen en te kwalificeren. Imec hoopt dat voor het eind van het jaar voor elkaar te hebben.

Tegelijk maken ASML en Imec bekend dat ze hun langlopende R&D-samenwerking tot 2015 verlengen. De twee bedrijven partneren al zo‘n vijfentwintig jaar en plakken daar nu nog eens vijf jaar aan vast. Eerder dit jaar nam Imec de NXE:3100 in gebruik, in november zal het de 193-nm immersietool NXT1950I installeren. De deal behelst verder onderzoek aan computational lithografie en ASML‘s metrologieplatform Yieldstar S200.