IBM en partners claimen 22 nanometer-SRam

IBM en zijn halfgeleidertechnologiepartners AMD, Freescale, STM, Toshiba en het College of Nanoscale Science and Engineering (CNSE) claimen een werkend SRam-circuit te hebben op 22 nanometer. De researchers gebruikten immersielithografie met hoge numerieke apertuur bij CNSE‘s researchfaciliteit in Albany, New York.

Details over het huzarenstukje zijn schaars, IBM zal de technologie toelichten tijdens de IEEE International Electron Devices-conferentie (IEDM) in december. Het 22 nanometer-knooppunt is nog twee generaties verwijderd van productie. Op dit moment zitten de meest geavanceerde commerciële processen op 45 nm. Eerdere 22 nm-circuits van IBM waren gemaakt met elektronenbundellithografie. Massafabricage van deze IC‘s is daarmee echter niet mogelijk.

De SRam-cel gebruikt een conventioneel ontwerp met zes transistoren en meet 0,1 vierkante micrometer, aldus IBM. De transistorgates meten minder dan 25 nanometer. De alliantie optimaliseerde het ontwerp om de stabiliteit te verbeteren en zetten een aantal nieuwe fabricagetechnieken in, zoals dunne spacers, nieuwe toevoegingen en geavanceerde activatietechnieken.