Technieuws

Goedkope Mems schrijven met nanometerprecisie

Pieter Edelman
Leestijd: 1 minuut

Onderzoekers van Boston University beschrijven in Nano Letters een Mems-gebaseerde methode om voor onderzoeksdoeleinden nanopatronen te fabriceren. Het systeem is bedoeld als goedkoop alternatief voor het kostbare elektronenbundellithografie.

Het systeem bestaat uit een silicium schijfje met gaatjes met verschillende diameters, met enkele micrometers daarboven een plat silicium staafje met een groot gat er in. Dit staafje werkt vergelijkbaar met de sluiter in een camera: het kan naar voren en achteren bewegen en zodoende slectief de gaatjes in de schijf eronder afdekken of openen. De schijf kan op zijn beurt ook weer met nanometerprecisie worden gepositioneerd dankzij vier elektromechanische veren aan elke kant. Door de twee structuren op de juiste manier uit te lijnen, kan er over een werkgebied van twintig bij twintig micrometer op elke plek precies de juiste hoeveelheid atomen worden opgedampt op het oppervlak onder het systeempje.

De lijndikte in het systeempje varieert van enkele honderden tot vijftig nanometer, maar de onderzoekers denken dat zelfs nog kleiner kan, tot aan individuele atomen aan toe. Bovendien is het compatibel met elk materiaal dat opdampbaar is. Om de mogelijkheden aan te tonen, schreven de onderzoekers möbiussymbolen van 2 micrometer breed in goud en chroom op een siliciumnitride oppervlak.

This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one and enjoy all the benefits.

Login

Related content