Reading time: 1 minute
Author:
Het Franse onderzoeksinstituut CEA-Leti en Fei gaan gezamenlijk werken aan de karakterisering van 22-nanometertechnologie en verder. De twee organisaties hebben daartoe een driejarige overeenkomst getekend. Centraal in de samenwerking staat Feis topmodel, de Titan scanning transmission electron-microscoop (Stem), terwijl CEA-Leti en zusterorganisaties hun expertise op het gebied van nanobundeldiffractie en holografie inbrengen.
âHet onderzoek richt zich op een tweetal gebieden: het gebruik van holografie met de Titans speciale elektronenbron om de gevoeligheid van doteringsprofielen te verbeteren, en het gebruik van diffractietechnieken om veranderingen in materiaalstress en andere kristallografische parameters te metenâ, zegt vicepresident George Scholes van Fei. CEO Laurent Malier van CEA-Leti voegt toe: âSamen verwachten we verscheidene technische hindernissen te kunnen wegnemen waar de halfgeleiderindustrie voor staat.â
