EUV-zorgen verleden tijd

’Ik mag eindelijk groen gebruiken van de communicatieafdeling‘, grapt ASML-CEO Eric Meurice als hij tijdens de presentatie van de jaarcijfers de slide over EUV-lithografie bereikt. In een groen font valt daarop te lezen dat ASML en bijna-dochter Cymer een bronvermogen van veertig watt onder productiecondities hebben gerealiseerd en zestig watt in het lab. ’Dit soort cijfers geven ons het vertrouwen dat we de afspraak met onze klanten kunnen nakomen‘, zegt Meurice.