EUV of toch immersie?

Waar EUV-lithografie zich maar moeilijk laat temmen, heeft immersie nog wel eens verrassingen in petto, zelfs voor ASML. ‘Ik moet toegegeven dat we twaalf tot achttien maanden geleden geen idee hadden dat deze machine zo goed zou zijn’, zei CEO Peter Wennink over de nieuwste immersietool uit Veldhoven, de NXT:1970C. ASML verkocht er vorig jaar vijf van en heeft er nog veertien in het orderboek staan.

De NXT:1970C is het alternatief dat ASML zijn klanten aanreikt nu EUV-technologie nog altijd niet volwassen is. Chipbedrijven die aan het front opereren, belopen daarom twee parallelle routes naar 10-nanometerchips: ofwel via multipatterning met gepimpte immersietechnologie, ofwel met EUV. Deze strategie ‘voorkomt vertraging van de wet van Moore’, aldus Wennink.