‘EUV-monopolie voor ASML op til’ (update)

Omdat Nikon bezuinigt op de ontwikkeling van EUV-waferscanners, terwijl ASML volle kracht vooruit blijft gaan, zouden de Veldhovenaren wel eens een doorslaggevende voorsprong kunnen vergaren. Dat zegt Richard Windsor van effectenhuis Nomura in EE Times. ASML liep al voor, constateert hij, maar in het licht van recente ontwikkelingen zou de machinemaker een monopolie bijna niet meer kunnen ontgaan. Tot voor kort zei Nikon begin 2012 EUV-tools te gaan verschepen, maar die planning staat nu op losse schroeven. ASML denkt zijn bètamachines halverwege volgend jaar de deur uit te doen.

Nikon weerspreekt dit bericht. ’We zetten ons EUV-programma niet in de parkeerstand; we gaan volle kracht vooruit‘, aldus Nikon-woordvoerders in EE Times. ASML‘s grootste concurrent wil in 2012 de eerste EUV-machines verschepen. De preproductietools die Nikon nu aan het ontwikkelen is, komen niet bij klanten te staan. ASML daarentegen wil dat halverwege volgend jaar wel doen.