Eerste zetje Hightech Systemen-programma

Reading time: 2 minutes

Author:

Het Programma voor Hightech Systemen (HTS) krijgt 670 duizend euro uit de regeling Pieken in de Delta. De helft daarvan komt van EZ, de ander helft van de provincies Brabant en Limburg. Pieken in de Delta is er om kennisuitwisseling in sterke regio‘s een zetje te geven. Het Programma voor Hightech Systemen, een consortium van twintig bedrijven, legt eenzelfde bedrag bij. Het geld is gereserveerd voor activiteiten in 2007.

Intussen krijgt het HTS-researchprogramma voor scherpere contouren. Er zijn drie onderzoeksgebieden gekozen. Motionsystemen voor halfgeleider- en drukmachines is de eerste. Daarnaast komen er researchlijnen in ’nanopositionering en wetenschappelijke instrumenten‘ en ’intelligente autonome motion voor medische en huishoudelijke toepassingen‘.

Met de huidige toekenning wil het HTS-programma opleidingen faciliteren en roadmaps uitzetten om de kennis bij toeleverende bedrijven te versterken. Het is de bedoeling dat leveranciers van subsystemen een toenemende innovatieve rol gaan spelen. Daarnaast gaat er geld naar het opstarten van gemeenschappelijke vernieuwing en business development, het definiëren van R&D-projecten en het beoordelen van resultaten.

’Motion in vacuĂŒm‘ is een R&D-project dat al loopt. De kennis is onder meer nodig voor laadmodules in chipmachines en microscopen. Veel apparaatbouwers in het zuiden hebben met vacuĂŒmproblematiek te maken, zoals ASML, FEI en OTB. Het HTS-programma start binnenkort met een zesdaagse opleiding waarin thema‘s als tribologie en reiniging voor vacuĂŒmsystemen centraal staan. ’Vacuum is heel belangrijk. Het geeft mogelijkheden van steppers tot jetsystemen die nauwkeurig druppels moeten plaatsen om bijvoorbeeld kleine geleidende sporen aan te leggen op elektronische prints‘, zegt Egbert-Jan Sol van TNO. De kennis over vacuĂŒmtechnologie in de regio moet volgens Sol op een wereldniveau komen. ’Niet alleen bij de OEM‘s, maar vooral bij de toeleveranciers.‘

Voor toeleveranciers liggen er veel kansen, want pakweg loadlocks vormen niet de kernbusiness van bedrijven als ASML, FEI of OTB. ’Kostprijsreductie is hier een van de drijvende krachten‘, zegt John Blankendaal van de Brabantse Ontwikkelingsmaatschappij (Bom). ’Loadlocks voor vacuĂŒm bestaan al, maar het is de ambitie om ze de helft goedkoper te maken. Toeleveranciers moeten dat oppakken, want zij moeten het straks in serie gaan produceren.‘ Het uiteindelijke doel is om toeleveranciers op een hoger niveau te brengen. Machinefabrikanten hebben daardoor meer mensen en tijd om zich beter op hun kerncompetenties te focussen.