Binnenstebuiten

‘Eén wafertje per uur doormeten, volstaat niet meer’

Paul van Gerven
Leestijd: 8 minuten

Door de voortdurende schaling nemen de acceptabele foutmarges in lithografie en andere IC-productiestappen af, terwijl chipmakers steeds meer nieuwe materialen willen of moeten gebruiken. Om die uitdagingen het hoofd te bieden, leunt de halfgeleiderindustrie steeds meer op metrologie. Dit fenomeen heeft zich ontwikkeld tot een hele industrie, maar wat is het eigenlijk? Bits&Chips ging te rade bij ASML en Imec.

De media stuurden vorig jaar, zo tegen het einde van de zomer, een bizar nieuwtje de ether in: de kilo werd lichter. Hoe kon dat nu? De cilinder van platina-iridium ligt immers in een kluis vlakbij Parijs, hermetisch afgesloten van stof en vuil onder drie glazen stolpen, en komt daar maar zelden onderuit. Dat gebeurt eigenlijk alleen wanneer de tientallen kopieën uit alle windstreken huiswaarts keren voor een vergelijking met de ’Grand K‘. Bij de meest recente meting vorig jaar bleek het verschil tussen de standaardkilo en het gemiddelde van de kopieën zo‘n vijftig microgram te bedragen.

Eigenlijk was het helemaal geen nieuws. Bij de herijking van de kilo komen steevast discrepanties aan het licht, en de nazomer van 2007 was geen uitzondering. Ondanks alle voorzorgsmaatregelen verzamelen de standaard en zijn kopieën toch een beetje vuil of verliezen een atoompje of wat bij de schoonmaakprocedure. Maar omdat de kilo in bezit van het Internationaal Bureau voor Maten en Gewichten niet van massa kán veranderen, moeten de kopieën telkens een beetje worden aangepast.

This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one and enjoy all the benefits.

Login

Related content