Een van de Mems-jongens bij NXP

Mems zijn extreem gevoelig voor omgevingsinvloeden gedurende hun fabricage op waferniveau. Een goede omhulling is vereist om deze systemen verder te assembleren tot bruikbare componenten in elektronische schakelingen of sensoren. Voor Mems-devices die opereren in vacuüm is een goede afscherming van de omgeving al helemaal onontbeerlijk. Technisch ontwerper in opleiding Krishnan Seetharaman heeft deze afdichting onderzocht en aangetoond dat de ontworpen verpakkingstechnologie bruikbaar is voor Mems-devices. Het werk heeft hij uitgevoerd bij NXP.