Ebera krijgt licentie voor Imecs droogtechnieken

Het Leuvense Imec heeft een licentieovereenkomst gesloten met het Japanse Ebera voor zijn Rotagoni-technologie. De methode is ontwikkeld om siliciumschijven te drogen na het natte reinigingsproces. De methode is ontwikkeld om siliciumschijven te drogen na het natte reinigingsproces. Door zoutresidu‘s uit de spoelvloeistoffen kunnen droogvlekken ontstaan die de volgende productiestap verstoren.

Imec creëert boven het substraat een atmosfeer met een wateroplosbaar gas dat de oppervlaktespanning doorbreekt. Deze tensioactieve stof lost op in de waterlaag die meestal op één zijde van het vochtige substraat zit. Door een verschil in concentratie van het tensioactieve gas in twee punten van het substraat ontstaat een verschil in oppervlaktespanning. Het Marangoni-effect maakt dat het water naar de plaats met de hoogste oppervlaktespanning vloeit. Die kracht zorgt voor opeenhopingen van waterdruppels. De Leuvenaren laten de schijf dan roteren met 300 toeren per minuut om het water te verdrijven. Met deze gecombineerde techniek blijft er een waterlaagje over van ongeveer 30 nanometer. Klassieke methoden zoals spindrogen komen niet verder dan enkele micrometer. Met de Rotagoni-technologie is er zelfs met een microscoop geen droogvlek meer te zien.