Duitse firma boekt vooruitgang hoge-indexlitho

Schott Lithotec zegt ’significante vooruitgang‘ te hebben geboekt om hoge-indexlithografie mogelijk te maken. Deze techniek is principieel hetzelfde als immersielithografie, maar gebruikmakende van een lens en vloeistof met een hogere numerieke apertuur (NA). De voortgang waar Schott over rept, betreft een lens gemaakt van lutetium aluminium garnet (Luag). Dit materiaal heeft een geschikte NA-index, maar kampte met een te magere transmissie. De Duitsers zeggen nu ’slechts‘ een factor tien van de doelstelling te zitten. Afgelopen oktober was dat nog een factor 22.