Technieuws

Cymer maakt 50 watt EUV-bron die 8 uur meegaat

Paul van Gerven
Leestijd: 1 minuut

Het Amerikaanse Cymer zegt op koers te liggen om tegen 2009 een EUV-lichtbron te kunnen leveren die goed genoeg is voor pre-productietools. Er ligt nu een gepulste laserplasmabron van vijftig watt op tafel die acht uur meegaat voordat onderhoud vereist is. Aan het einde van het jaar is dat honderd watt volcontinu vermogen, beloofde David Myers van Cymer.

’Een testsysteem moet minimaal een dienst meegaan, wil hij bruikbaar zijn‘, verklaarde Cymer de doelstelling van acht uur. Uiteindelijk moet dat nog een stuk langer zijn. Een groot probleem is echter het afval dat ontstaat wordt bij het opwekken van EUV-licht, met name bij gebruik van tindruppeltjes zoals Cymer dat doet. Dit debris ’vergiftigt‘ de delicate optica van een EUV-tool. De Amerikanen hebben dan ook een actief subsysteem ontwikkeld om de schadelijke effecten te beperken. Verbetering daarvan krikt ook de levensduur tussen onderhoud op.

Cymer zette twee van zijn bronnen driemaal acht uur aan in een periode van twee dagen. Zij leverden gezamenlijk een megajoule aan energie af, genoeg om 250 300 millimeter wafers te belichten.

This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one and enjoy all the benefits.

Login

Related content