ASML worstelt met water en veranderende eisen

ASML‘s nieuwste generatie waferscanners werkt op basis van immersie. Tussen de lens en het silicium zit een laag water die de optische eigenschappen van de lens verbetert. De Veldhovense machinebouwer kan zo nog kleinere lijntjes afbeelden, waardoor chips goedkoper, sneller en kleiner kunnen. ’We zijn drie tot vier jaar geleden begonnen met water in onze systemen, zeker twee jaar eerder dan onze Japanse concurrenten‘, vertelt Doede Kuiper, die ASML‘s mechatronicatak onder zijn hoede heeft. ’Je zou de hele machine onder water kunnen zetten. Dat lukt alleen niet zo goed. Elektriciteit vindt dat niet zo leuk.‘ Er moest een oplossing komen om het water gecontroleerd onder de lens vast te houden.

Samen met AAE uit Helmond ontwikkelde ASML een immersiehoedje. Kuiper: ’We hadden al luchtconditionering rond de lens. Dat systeem blaast netjes langs de lens om de lucht zo schoon mogelijk te krijgen. De resist dampt namelijk een beetje en dat mag niet op de lens neerslaan. We blazen dat weg.‘ Dit idee vormde de basis van het watersysteem.