ASML levert EUV-preproductietool aan Imec


Warning: Undefined array key "bio" in /home/techwatch/domains/test.bits-chips.nl/public_html/wp-content/plugins/wpcodebox2/src/Runner/QueryRunner.php(126) : eval()'d code on line 13

Author:

Reading time: 1 minute

ASML gaat in 2010 een EUV-preproductiemachine installeren in de cleanroom van Imec. Dat hebben de twee bedrijven afgesproken. Met de tool voor extreem-ultravioletlithografie kunnen de Leuvense wetenschappers onderzoek doen aan 22 nanometer CMos.

Philips levert de bron voor ASML‘s EUV-alfatool.

’Imec is een gewaardeerde partner in de industrie doordat het halfgeleiderbedrijven helpt bij het onderzoek aan nieuwe technologieën. De bestelling van onze EUV-lithografiesystemen is een teken dat chipfabrikanten inzetten op extreem ultraviolet voor de volgende generaties‘, zegt ASML-technologiebaas Martin van den Brink. ’Volgens onze roadmap kunnen de EUV-machines meer dan honderd wafers per uur belichten. Dat is ruim voldoende voor kosteneffectieve EUV-chipproductie.‘

Eind september slaagde Imec er voor het eerst in 35 en 40 nanometer lijnen af te beelden in 100 nm MET-2D-resist van Rohm & Haas. Het Leuvense researchcentrum gebruikte daarvoor de Veldhovense EUV-alfatool met een tinbron van Philips Extreme UV. Het demoapparaat was nog slechts bedoeld om de technologie te bekijken en de haalbaarheid aan te tonen. Met de preproductietool gaat Imec de EUV-technologie klaarstomen voor massaproductie.