Reading time: 1 minute
Author:
Op de Semicon West-vakbeurs, deze week in San Francisco, introduceert ASML twee nieuwe tools. De Twinscan-lijn is voortgezet met de NXT:2000i, waarbij onder meer de uitlijn- en levelsensor en de wafertafel onder handen zijn genomen. Dit mede om de machines optimaal te laten samenwerken met ASML’s euv-tools, die vanaf het foundry-5-nanometerknooppunt in het productieproces zijn opgenomen.
De nieuwste metrologietool Yieldstar 375F is voorzien van verbeterde optische technologie, die sneller en nauwkeuriger data genereert bij een instelbare golflengte. Klanten kunnen die gegevens realtime analyseren en gebruiken om hun productieproces te optimaliseren.
De NXT:2000i wordt pas vanaf volgend jaar in zijn geheel verscheept, maar tot die tijd kunnen klanten al deel-upgrades op hun bestaande machines krijgen. De Yieldstar 375F wordt al wel verkocht. Later dit jaar introduceert ASML-dochter Hermes Microvision ook nog een nieuwe e-beam-metrologietool.
