ASML en Tata Steel sponsoren ‘microscoop’ voor bewegende oppervlakken

Reading time: 1 minute

Author:

Het Advanced Research Center for Nanolithography (ARCNL) ontwikkelt met ASML, Tata Steel en de Vrije Universiteit Amsterdam een inspectiemethode voor bewegende oppervlakken. Het lensloze systeem gaat informatie extraheren uit het diffractiepatroon van gereflecteerd laserlicht, iets wat zowel voor ASML’s lithografische structuren als voor Tata’s metaaloppervlakken relevant is. Het project is gehonoreerd in de Hightech Systemen & Materialen-call van STW en kent een budget een zevenhonderdduizend euro voor vier jaar onderzoek. ASML en Tata dragen ieder vijftien procent bij.