ASMI krijgt concurrentie uit Frankrijk

Paul van Gerven
Leestijd: 1 minuut

Altatech Semiconductor heeft vandaag op de Semicon Europa-vakbeurs een tool gelanceerd voor atoomlaagdepositie (ALD) en chemical vapor deposition (CVD). De AltaCVD is onder meer geschikt voor het opbrengen van diĆ«lektrica met hoge k, metalen elektroden, legeringen voor faseveranderingsgeheugens en diffusiebarriĆØres voor koper. De Franse machinebouwer begeeft zich daarmee in hetzelfde speelveld als ASM International. Het is publiek geheim dat Intel pionier is in het gebruik van hoge-k-diĆ«lektrica in geavanceerde CMos-processen en daarvoor de Bilthovense tools gebruikt.

This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one and enjoy all the benefits.

Login