Kort nieuws

ASMI gaat ALD-overeenkomst aan met Amerikaanse chemicaliënboer

Paul van Gerven
Leestijd: 1 minuut

ASM International gaat een partnerschap aan met het Amerikaanse SAFC Hitech, onderdeel van chemicaliënleverancier Sigma-Aldrich. SAFC zal de materialen leveren voor de volgende generatie atoomlaagdepositieprocessen. De formalisering van de bestaande samenwerking moet in 2011 de materialen opleveren die nodig zijn voor het maken van chips die dan state-of-the-art zijn.

ASMI heeft een leidende positie in atoomlaagdepositie (ALD) voor fabricage van halfgeleiders. Het is een publiek geheim dat Intel zijn nieuwste lijn 45-nanometerprocessoren maakt met ASMI‘s machines. In deze chips is het traditionele isolerende laagje siliciumdioxide in de stuurelektrode vervangen door een met ALD opgebracht materiaal gebaseerd op hafnium, een zogenaamde hoge-k-materiaal.

ASM wil voor de volgende generaties chips nog betere isolerende laagjes ontwikkelen op basis van barium en strontium – zogenaamde ultrahoge-k-materialen. Deze elementen isoleren wel twee tot drie keer beter, waardoor kleinere transistoren en condensatoren mogelijk zijn. Als chemicaliënspecialist zal SAFC Hitech zich ontfermen over materiaalaspecten van deze ambitie. ’De wet van Moore hangt steeds meer af van de integratie van nieuwe materialen in chipfabricageprocessen‘, aldus CTO en researchdirecteur Ivo Raaijmakers van ASMI.

This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one and enjoy all the benefits.

Login

Related content