Reading time: 1 minute
Author:
ASMI en de universiteit van Helsinki gaan de komende vijf jaar opnieuw samen onderzoek doen aan atoomlaagdepositie (ALD). De twee instanties hebben sinds 2004 al een onderzoeksovereenkomst lopen, maar de samenwerking gaat verder terug. De universiteit van Helsinki doet al sinds de jaren tachtig onderzoek naar ALD en speelt een belangrijke rol in de ontwikkeling van de technologie. In 1987 kwam uit het Finse onderzoek het bedrijf Microchemistry voort, dat ALD-technologie verder moest pionieren. In 1999 kwam Microchemistry in de handen van ASMI.
Volgens ASM-CTO Ivo Raaijmakers blijft het Finse onderzoek belangrijk: ’Dit akkoord heeft recent nog enkele sleutelinnovaties opgeleverd in gebieden zoals edelmetalen en faseveranderingmateriaaldepositie. We bestuderen op het moment hoe we dit kunnen inzetten voor massaproductie.‘
