ASMI deelt ALD-kennis met Tokyo Electron

Reading time: 1 minute

Author:

ASMI heeft Tokyo Electron Limited (TEL) toegang gegeven tot zijn octrooien over atoomlaagdepositie (ALD). De Bilthovense machinebouwer geldt als ALD-specialist en heeft een uitgebreid patentenportfolio rond deze technologie. Met ALD is het mogelijk om één atoomlaag per keer op een substraat aan te brengen. Zo krijg je ultradunne films van hoge kwaliteit. In een persbericht bestempelt TEL ALD als een cruciale technologie, vooral voor productieprocessen die details kleiner dan 32 nanometer moeten opleveren.