ASM haalt streep door Nutool en saneert atoomlaagdepositie

ASM International trekt de stekker uit dochter Nutool in het Amerikaanse Milpitas. De Bilthovense machinefabrikant besteedt 42 miljoen euro om het bloeden te stelpen bij de specialist in elektrochemisch-mechanische depositie (ECMD). Overblijvende proceskennis en IP zal ASM in de vorm van licenties aan de man trachten te brengen.

Daarnaast saneert ASM zijn machinegroep Transistor Capacitors. Het brengt de ontwikkeling van waferhandlers voor chemische atoomlaagdepositie (ALD) en plasma-atoomlaagdepositie (PEALD) binnen één organisatie. Daarvoor trekt het Bilthovense bedrijf 7 miljoen euro uit.

ASM verwierf de ALD-technologie in 1999 met de overname van het Finse Microchemistry. In 2004 namen de Bilthovenaren tevens het Koreaanse Genitech over, dat plasma-atoomlaagdepositieprocessen levert voor metalen en diëlektrische materialen.